투사노광법인데

물론 이렇게 응축 시키려면 마스크의 빛이 밀도를 낮춰줘야돼.

만약에 3나노에서 0.3나로 응축하려면 10배율을 낮춰야 하는데.

그럴려면 빛의 밀도를 10%까지 낮춰야 가능하다는거지.

10%낮춘뒤 10 배율 축소 렌즈로 응축시키고 그 응축시킨 빛의 밀도를 다시 10%로 낮춘뒤

10배율 축소 렌즈로 축소시키는거지.

이렇게 공정을 추가하면 3나노가 0.03나노가 되는거지.

빛의 크기를 줄이는 핵심 공정은 빛의 밀도를 낮추는것이였어.