0.01나노 핵심공정과 핵심 기술.jpg

마스크에 8배율 축소 렌즈를 통과 하게 되면 빛이 응축되는데

8배 이상으로 높이게 되면 어떤 현상이 일어날까?

빛이 겹쳐지는 부분이 커지면서 마스크의 원 형이 제대로 나오지 않아.

그런데 여러번 다른 렌즈를 통과해 20번정도 투과시켜 빛의 밀도를 낮추는거지

빛의 밀도가 10%로 떨어졌어, 

그러면 8배가 아니라 80배까지 배율을 높여도

빛이 겹쳐져서 마스크 본형이 유지된다는거야.

핵심 공정과 기술은 빛의 밀도를 낮추는거고, 

응축시키는거지.

당장이라도 0.01나노가 가능해,

빛의 밀도를 1%까지 낮추고 응축 렌즈로 100배로 축소 시킨뒤,

다시 그 빛이 다른 렌즈를 통과해 빛의 밀도를 낮춘뒤. 100배 추가로 응축시키는거지.

3나노의 기준으로 100배가 낮아지면 0.03나노

거기서 다시 100배가 낮아지면 0.0003나노지.

핵심 공정과 핵심 기술이 개발된거야.

0.01나노로 가기 위한 반도체의 난제가 풀려버린거지.

빛의 크기를 줄이는 방법말이야.