투사노광법인데물론 이렇게 응축 시키려면 마스크의 빛이 밀도를 낮춰줘야돼.만약에 3나노에서 0.3나로 응축하려면 10배율을 낮춰야 하는데.그럴려면 빛의 밀도를 10%까지 낮춰야 가능하다는거지.10%낮춘뒤 10 배율 축소 렌즈로 응축시키고 그 응축시킨 빛의 밀도를 다시 10%로 낮춘뒤10배율 축소 렌즈로 축소시키는거지.이렇게 공정을 추가하면 3나노가 0.03나노가 되는거지.빛의 크기를 줄이는 핵심 공정은 빛의 밀도를 낮추는것이였어.
당장 가능한 0.01나노 핵심 공정.jpg
투사노광법인데
물론 이렇게 응축 시키려면 마스크의 빛이 밀도를 낮춰줘야돼.
만약에 3나노에서 0.3나로 응축하려면 10배율을 낮춰야 하는데.
그럴려면 빛의 밀도를 10%까지 낮춰야 가능하다는거지.
10%낮춘뒤 10 배율 축소 렌즈로 응축시키고 그 응축시킨 빛의 밀도를 다시 10%로 낮춘뒤
10배율 축소 렌즈로 축소시키는거지.
이렇게 공정을 추가하면 3나노가 0.03나노가 되는거지.
빛의 크기를 줄이는 핵심 공정은 빛의 밀도를 낮추는것이였어.