1나노는 사실 바로 가능한데,마스크의 크기를 1/10배 작게 만들어서 그 안에 9개를 넣는거야.이렇게 조립형 특수 마스크를 만드는거지. 아니면 마스크를 1/100배 작게 만들어서, 90개를 이어붙여도돼.그러면 한번에 90개씩 그려지지.빛의 크기를 줄이는 방법은 다 알지.물리적으로 빛이 통과되는 곳의 크기를 줄이거나 축소 렌즈로 응축시키는거야.단, 이 과정에서 단위 면적당 빛의 밀도가 높아져 본형이 제대로 나오지 않으닌깐,빛의 밀도를 낮춰야지.웨이퍼 위에 그래핀 코팅하고 건식으로 코팅하면 수율도 잘나오고, 열 전도율도 더 좋아지고,터널링 효과도 발생하지않지.3나노 가지고 바로 0.3나노 가능한거야.
반도체 1나노 만드는거 일도 아니지.jpg
1나노는 사실 바로 가능한데,
마스크의 크기를 1/10배 작게 만들어서 그 안에 9개를 넣는거야.
이렇게 조립형 특수 마스크를 만드는거지.
아니면 마스크를 1/100배 작게 만들어서, 90개를 이어붙여도돼.
그러면 한번에 90개씩 그려지지.
빛의 크기를 줄이는 방법은 다 알지.
물리적으로 빛이 통과되는 곳의 크기를 줄이거나 축소 렌즈로 응축시키는거야.
단, 이 과정에서 단위 면적당 빛의 밀도가 높아져 본형이 제대로 나오지 않으닌깐,
빛의 밀도를 낮춰야지.
웨이퍼 위에 그래핀 코팅하고 건식으로 코팅하면 수율도 잘나오고, 열 전도율도 더 좋아지고,
터널링 효과도 발생하지않지.
3나노 가지고 바로 0.3나노 가능한거야.