집광능력이 높을수록 해상도가 높은 이유.JPG

굴절 망원경의 경우 집광능력이 

반사망원경에 비해 떨어져서 해상도가 낮은데,

이것은 빛이 반사되면서 퍼져나가기 때문에,

개구수(NA)가 높을수록 해상도를 높일수있게 되는거지.

EUV에서 출력량을 높이기 위한 집광 능력 외에는 크게 의미없어.

물론 반사 미러의 경우 각도와 집광력도 중요한데 중요한데, 

1:1비율이 가장 이상적이지.

빛이 작아졌다가 커지게 하면 해상도가 크게 떨어지기 때문이야.

물론 빛의 밀도를 낮춘다면 말이 달라지겠지만,

그래서 마지막에 웨이퍼에 그릴때 빛의 밀도를 얇은 펠리클을 

여러 번의 공정을 통해 낮추면서, 축소 배율을 밀도에 맞게 형상을 찍어내는거지.

1000만대 1 비율로 작게 만들수도 있어.

광학의 세계에서 0.001CM 살짝 밀렸는데 100만배가 작아질수도 있는거지.