0.01나노 반도체 현실화 하기 위한 난제 2가지.jpg

0.01나노 반도체를 만들기 위해서 해결해야할 난제는 2가지인데,

그것은 빛의 크기를 줄이는것과 누설전류를 잡는거지.

빛의 크기를 줄이는것은 빛의 밀도를 낮추고, 축소 배율을 높이면 되는거야.

렌즈 필터 ND1000000의 경우 빛의 밀도를 100만배 낮춰주는데,

코일 렌즈로 X축, Y축 좌표를 정하고, 자기장을 흘려보내서 축소 배율을 교정하는데,

100만배 낮추는거지.

0.01CM 뒤로 밀려났는데 100만배 작아질수있어. 이게 이제 광학의 세계지.

누설전류 잡는것도, 실리콘 산화막의 밀도를 높여줘야 하는데,

그래핀으로 코팅하고 0.1CM~0.3CM의 틈을 만들고, 

고열의 고압의 건식으로 산화막을 만들어서 산화막 밀도를 높이는거야. 

산화막 밀도를 높이면 누설전류가 발생하지 않지.

ND 1000으로 하는경우 1000배 낮출수있는데,

10나노가 바로 0.001나노가 되는거야.