빛의 모으기 위해서 집광력을 높이는데,

이 집광력이 높을수록 해상도가 높아져, 

그런데 너무 강해지면 단위면적당 빛의 밀도가 높아져, 물체를 보지 못하게되지. 

그리고 시력에 손상을 주기 때문에 빛의 밀도를 낮춰주는 렌즈 필터를 착용하는거야.

우리가 태양을 볼때도 그런데,

EUV 레이저에서 마스크에 닿은 빛의 밀도를 렌즈 필터로 낮춰주는건데

렌즈필터 ND100000의 경우 투과율을 0.00001로 낮춰줘, 1/100만으로 투과율이 감소한다는거지.

그러면 이 빛을 축소시키는데, 100만배 작게 만들수 있어.

그러면 이 필터를 2번을 통과하면 1조배 작게 만들수있다는거지.

이 배율을 정하는것은 마지막 코일 렌즈인데, X축과 Y축의 코일을 설치하고,

전류를 흘려서 자기장에 의해 빛의 축소 배율을 결정하는거야.

광학의 세계에서 0.0000001CM 살짝 밀렸는데, 빛의 크기가 1억배가 작아질수도 있다는거야.

3나노 마스크에 반사된 빛의 밀도를 낮춰주고, 

축소 배율을 100만배 높여주면 3나노가 0.000003나노가 되는거야.

빛의 크기를 줄이려면 빛의 밀도를 낮춰주고, 

자기장 배율기로 축소배율을 높이기만면 되는거야.

이것이 반도체 업계의 난제였어.

그리고 상의 크기가 작아 졌을때 오히려 해상도는 더 좋아지지.

0.01나노는 시작일뿐인데, 

처음부터 0.000001나노가 가능하게 설계할수도있어.