빛의 크기를 줄이는 난제가 풀렸는데,

6배율정도만 하더래도 단위면적당 빛의 밀도가 높아서 마스크를 통과해 만들어진 빛의 형상이

제대로 그려지지 않아서 수율이 낮아져. 

이런 근본적인 문제를 해결하는 방법은 바로 빛의 밀도를 낮추는거지.

렌즈를 투과하면서 빛이 균등하게 빛의 밀도가 감소하는데.

한번 투과할때마다 1/10%씩 줄어든다면 13번이면 25.41%까지 빛의 밀도가 떨어져,

원래 기본의 최대 렌즈 배율이 6배라면 빛의 밀도를 25.41%까지 떨어트렸으면 여기서추가로

4배만큼 더 떨어트릴수있는거지. 빛의 밀도가 떨어졌을때 해상도를 높이기 위해서,

오목렌즈와 볼록렌즈를 결합할수있어. 그리고 그 빛을 미세 렌즈로 다시 축소하는거지.

광학의 세계에서는 1CM만 뒤로 밀려도 크기가 100배 작아질수있는데,

이런식으로 빛의 밀도를 낮춰서 응축시키고, 해상도를 높이는거야.

마스크에서 만들어진 빛을 1/100배까지 줄이는거야. 

이론적으로 1/10000배도 가능하지.

말 그대로 반도체의 특이점이 온거야.

현대 물리학계, 반도체 업계에서는 빛의 크기를 줄이는 방법을 찾지 못했지만 찾게 된거야.

바로 밀도를 낮추고 응축시키는거지. 오목렌즈와 볼록렌즈로 해상도를 잡아주면,

0.0001나노도 가능한거지. 파장이 짧아질수록 미세컨트롤이 가능해지는데,

그만큼 시간당 가해지는 에너지량이 증가하기 때문이지.

웨이퍼 스캔을 통해서, 덜 깍인 부분만 레이저를 추가로 쏠수도 있고, 

이런식으로 해상도와 수율을 잡을수있어. 공정을 추가 하기만 하면돼,

방법은 여러가지인데, 웨이퍼의 재료 가격이 높아지면 이 공정을 만들었을꺼야.

경제성이 없으면 이 공정을 굳이 만들 필요는 없어,

핵심은 빛의 크기를 줄이고 해상도를 높이는건데,

빛의 크기를 줄이는것은 투과형 렌즈를 통해 밀도를 낮추고 

오목렌즈와 볼록렌즈로 해상도를 잡아주고, 축소렌즈로 빛의 크기를 줄이는거지.

빛의 크기를 줄이는 공정은 마스크를 투과해 만들어진 빛에서부터 시작되어야겠지.

이런식으로 몇번만 반복하면 0.01나노가 바로 가능하지.