0.01나노를 만들려면 EUV레이저에서 만들어진 최종적의 빛의 크기를 줄이는데 있어,

해상도를 유지하면서 그 빛의 크기를 줄이는게 핵심 기술인데,

축소 렌즈를 통해서 가능하지.

그런데 축소 렌즈 배율이 6배를 넘어가는경우, 

단위 면적당 과도한 빛의 결집되면서 해상도가 떨어지게 되는거지.

그래서 썬텐 렌즈 같은 것을 투과시켜 빛의 밀도를 20%이하로 낮추고,

5배로 축소하는거야.

이 공정을 5번만 반복하면, 5배X5배X5배X5배X5배 3125배를 작게 만들수 있게 되는거지.

마스크를 투과한 빛을 B1 렌즈로 축소하고, 그 궤도에서 썬텐 투과체 A1으로

빛의 밀도를 낮추는거지.

그리고 오목렌즈 C1 에서 빛의 궤도를 변경해, 다시 오목렌즈로 받아주고,

그 오목렌즈에서 5배율로 축소하고, 그 궤도에서  썬텐 투과체로 빛의 밀도를 낮추고,

오목렌즈에서 받아주고 이것을 5번 반복하는거야.

이러면 렌즈의 절대적 크기가 너무 미세화되어버리는데,

마스크를 조립형으로 만드는거지.

마스크를 100개를 조립해서 끼워서, 만들면 한번에 100개씩 그릴수있고,

렌즈 크기를 절대적으로 100배 키울수있는거지.

빛의 크기를 줄이는 난제가 풀린거야.

지금 2나노 이하로는 어렵다는데 0.1나노 만드는것은 사실 일도 아니지.