빛의 크기를 줄이는것은 빛의 밀도를 낮춘뒤 축소 배율을 높여주는건데,
축소가 마지막 공정이지..
축소하는 마지막 끝에서 10나노 볼록렌즈와 0.01나노 오목렌즈를 결합하는거야.
이 과정에서 빛이 반사 될 수 있는데, 반사가 되지 않도록
빛의 궤도에 scanning coil을 설치하는거지.
그리고 코일의 전류를 흘려 자기장을 형성해서 발생되는
척력으로 빛의 궤도 이탈을 막는거지.
빛의 밀도를 낮추고,
마지막에 10나노 볼록렌즈에서 0.01나노 오목렌즈로 빛이 지나가면서,
크기가 작아지는 과정에서 빛의 궤도 변경에 따른 손실을 없애기 위해서,
sanning coil을 설치하는건데,
이것을 설치해야 변환하는 과정에서 해상도도 높아져.
ASML이 5년안에 0.01나노를 현실화 하면 회사 가치가 어느정도로 높아질까?